τχτyǔzんаǐωǔ.còм 二、Waferdefe（2 / 2）

「我说，这个 ca色 你解不了。」女孩淡淡道。「跟我来吧！」

她的右手轻轻在士研背上一拍，士研只感到一阵晕眩，意识一下模糊起来，感觉机台渐渐变大，那个进货口变得像黑洞一样，就连晶圆传送的单位、晶舟(装晶圆的舟状物，一般都25片晶圆装在一个晶舟里，称为1 lot)都变得巨大无比，等他再清醒时，已在一道高墙之下。

「这是你刚刚长的氧化层，50a。」女孩指着高墙的顶端。(1a＝10-10公尺，约一根头发的百万分之一)。

士研只能傻傻地点头，他根本高不清楚眼前发生了什麽事。要说他真的变小只剩 1a 的身高，他是死都不相信的。

女孩微微一笑，她可不管士研信不信，拉着他的手轻轻地飘到墙头，眼前是一大片平原，但有些地方坑坑洼洼地，像是一个个凹洞。

「你脚下就是刚刚长的二氧化矽，你看那些凹洞，像不像你在电子显微镜下看到的 defect？」女孩指着眼前不远的一个大洞。

士研肉肉眼睛，的确在电子显微镜下看到的就是这样一个个凹洞，大家想破脑袋都想不到这些凹洞到底是哪里来的。

「来。」女孩拉着士研走到凹洞处，只见里面趴着许多龟壳似的物t，有些还从壳里伸出粗短的四肢，正一口一口地啃着地面，形成更多更深的凹洞。

「这些是矽族，它们身体是矽，食物是二氧化矽，吃到身体里把二氧化矽变回矽，把氧排出，这就是它们的日常。这是一种无机生命t，跟你认识的生命形式完全不同。」女孩边说，边抓起其中一只，朝天空抛去，说也奇怪，矽族抛出後竟不落下，而是缓缓朝着天空飞去，慢慢消失不见。

「它们的成份跟你的晶圆一样，所以制程中的酸碱侵蚀对它们都不起作用，一旦出现在晶圆上，就会造成你看到的 defect，但这早已超出你们认知，所以通常都是悬案。」

士研试着拿起一只，往空中抛去，如果这样真的可以解决眼前的问题，他愿意把这些东西一只一只全部抛上天。

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